Ecolab Ovivo™ Ultrapure Water Treatment Systems

Solutions de polissage UPW sans métal

Conçu pour éliminer le carbone organique total et le H2O2 pour obtenir des résultats ultra-purs

La réponse sans compromis à ce que les exploitants d’usines de semi-conducteurs peuvent attendre des systèmes de polissage UPW.

Aujourd'hui, les configurations de circuits intégrés sont si complexes que les contaminants les plus infimes auront un impact sur le produit final. L’objectif de la solution Ovivo d'Ecolab a toujours été d’éliminer toutes les sources potentielles de contamination.

Détails du programme

En incorporant des matériaux de haute pureté tels que les granules spéciaux PVDF-HP ou l'E-CTFE Halar®, les systèmes de polissage UPW sans métal Ovivo d'Ecolab permettent d’obtenir une teneur en carbone organique total (COT) inférieure à 1 ppb et une teneur en peroxyde d’hydrogène (H2O2) inférieure à 10 ppb.

La solution inclut une procédure de nettoyage de qualité semi-conducteur pour toutes les pièces en contact avec le liquide. De plus, notre solution offre le contrôle total de la chaîne d’approvisionnement afin d’assurer une grande fiabilité des produits et une durabilité à long terme.

Pour renforcer nos systèmes de polissage sans métal, nous avons développé les produits suivants :

  • U-PUR. Le réacteur sans métal le plus compact pour la production d’eau ultra-pure (oxydation UV / catalyseur / lit mixte de polissage).
  • Pompes UPW. La nouvelle génération de pompes non métalliques spécialement conçues et fabriquées pour les applications d’eau ultra-pure.
  • Boîtiers de filtre cartouche CFHA. Le nec plus ultra des boîtiers de filtre cartouche sans métal pour l’étape de polissage de l’eau ultra-pure.

Ces produits réduisent la surface d’acier inoxydable en contact avec le liquide dans le système de polissage UPW.

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Comment ça marche ?

Alors que les systèmes de polissage conventionnels comprennent de nombreux équipements en acier inoxydable électropoli, nos pompes UPW et nos récipients d'échange ionique à revêtement en fluoropolymère U-PUR, qui intègrent le traitement UV, éliminent la majorité des surfaces métalliques en contact avec le liquide.

Les pompes sans métal ne sont pas une nouveauté sur le marché de l’eau ultra-pure. Ce qui est nouveau, ce sont les débits élevés que les pompes UPW d’Ovivo peuvent atteindre. Ces pompes de haute pureté sans métal ont été conçues pour garantir que toutes les surfaces en contact avec le liquide sont en PVDF de haute pureté. En remplaçant les turbines en acier inoxydable 316L par des turbines en PVDF de haute pureté, les particules conductrices sont éliminées du flux de processus lors d’une interruption de service, d’un entretien de la pompe ou d’un rinçage des joints.

Le réacteur novateur U-PUR sans métal est capable d’éliminer les traces de COT et H2O2, produisant une eau beaucoup plus pure que les systèmes traditionnels. Sa conception est une solution facile à entretenir qui élimine la tuyauterie, réduisant ainsi le risque de contamination par exposition aux métaux. Le produit U-PUR allie réacteurs UV avec lit mixte afin d’éliminer la surface d'acier inoxydable exposée au liquide. Cela représente une avancée majeure dans l’approvisionnement en eau ultra-pure et permet au système de fournir une qualité d’eau nettement supérieure.

Les modèles CFEHA (boîtier pour filtre cartouche conforme à la norme européenne avec revêtement Halar intérieur) et CFAHA (boîtier pour filtre cartouche conforme à la norme ASME avec revêtement Halar intérieur) constituent le choix ultime pour répondre aux besoins spécifiques des applications d’eau ultra-pure. Les deux modèles sont décapés et passivés à l’intérieur comme à l’extérieur avant l’application du revêtement Halar. Ces boîtiers pour filtre à la pointe de la technologie comprennent de l’acier inoxydable 316L haute performance avec toutes les surfaces en contact avec le liquide revêtues de fluoropolymère. Cette mesure garantit que l’eau ultra-pure n’entre jamais en contact avec le métal exposé, ce qui est idéal pour la fabrication nanotechnologique.


Produits associés

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Ecolab Ovivo™ Ultrapure Water Treatment Systems

Boîtiers de filtre cartouche

Conçus pour assurer une filtration fiable de haute qualité et souvent utilisés pour les filtres de polissage dans presque tous les types de processus industriels de filtration de l’eau, les boîtiers de filtre cartouche Ovivo d'Ecolab sont le choix idéal pour le polissage d'eau pour l’industrie pharmaceutique, l’agroalimentaire, la préfiltration par osmose inverse et l’eau ultra-pure.

Ecolab Ovivo™ Ultrapure Water Treatment Systems

Pompes UPW

La nouvelle génération de pompes non métalliques de haute pureté Ovivo d'Ecolab, destinées aux applications d’eau ultra-pure (UPW), est conçue et fabriquée selon les normes les plus rigoureuses en matière de semi-conducteurs afin de répondre aux exigences actuelles et futures de l’IRDS (International Roadmap for Devices and Systems).

Ecolab Ovivo™ Ultrapure Water Treatment Systems

U-PUR™

U-PUR Ovivo d’Ecolab est le réacteur sans métal le plus compact du marché pour fournir de l’eau ultra-pure (UPW) aux secteurs électronique, médical et pharmaceutique.

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Des partenaires expérimentés dans le domaine du traitement de l’eau ultrapure

  • Des décennies de développement d’applications de purification d’eau ultrapure
  • Une innovation continue et une vaste gamme de produits de purification de l’eau ultrapure
  • Une vaste expérience dans l'assistance de nos partenaires dans toutes les phases de la production d’eau ultrapure
  • Connu pour son système fiable, durable et de haute qualité
  • Compréhension approfondie des technologies et du traitement de l’eau dans l’industrie de l’électronique et des semi-conducteurs

Ovivo Ultra-Pure Water+ d’Ecolab

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