Ecolab Ovivo™ Ultrapure Water Treatment Systems

Urea Analyzer

Fournit des mesures continues et précises de l’urée

Urea is a critical contaminant in ultrapure water (UPW) for semiconductor manufacturing because it contributes to total organic carbon (TOC) concentration and can adversely affect photolithography processes.

Ecolab® Ultra-Pure Water+ Urea analyzer, a newly innovated product, provides continuous and accurate urea measurements with four sampling channels.

Détails du matériel

The Ecolab Ultra-Pure Water+ Urea Analyzer allows continuous monitoring, which is capable of capturing seasonal urea variations and adapting the UPW treatment process steps to maximize its removal.

L’application concerne l’eau ultra-pure ou désionisée. D’autres applications dépendent de la composition de l’eau.

We have experience with efficient Urea treatment systems which can be designed regarding specific case and needs of a customer.

The Urea Analyzer has the following important features:

  • Échantillonnage et analyse automatiques
  • Fonctionnement continu (7/24)
  • Faible consommation de produits chimiques
  • Large gamme de concentrations d’urée
  • Options d’échantillonnage ponctuel
  • Fonctionnement automatique du logiciel après le démarrage initial ainsi que l’intégration et l’interprétation automatiques
Limite de détection 1,5 ppb d’urée
Fourchette de qualification 3 ppb... 150 ppb sous forme d’urée
Canaux d’échantillonnage 4
Temps moyen de mesure 60 min / échantillon
Volume par échantillon < 100 mL
Pression maximale de l’échantillon 10 bar (145 psi)
Tension 90 - 230 V / 10 A @ 50 - 60 Hz
Consommation d’électricité 450 watt
Dimensions 60 x 60 x 190 cm (24 x 24 x 75 po)
Mode de fonctionnement Séquence automatique/sélectionnable ou mesures manuelles individuelles. Analyse en continu ou sur échantillon ponctuel.
Process LC-OND Analyzer for Urea monitoring.

Comment ça marche ?

Process LC-OND Analyzer for Urea monitoring.

The working principle of Urea Analyzer is based on a chromatographic separation, namely LC-OND (Liquid Chromatography – Organic Nitrogen Detection).

La phase mobile (tampon salon) est pré-nettoyée par un réacteur d’oxydation spécialement conçu. Un volume défini d’échantillon aqueux est capté par une boucle et injecté dans le flux continu de la phase mobile. L’échantillon est ensuite acheminé vers une pompe et une colonne chromatographique où l’urée est séparée des autres espèces d’azote, comme le nitrate et l’ammonium.

Après avoir quitté la colonne chromatographique, la solution est introduite dans un réacteur à lampe à oxydation UV à ondes courtes où l’urée est convertie en nitrate.

Le nitrate est ensuite détecté sélectivement par un détecteur d’absorption UV (UVD) à ondes basses.

Toutes les espèces s'éluent en fonction de leur temps de rétention spécifique. Le temps de rétention est utilisé pour l’identification, tandis que les unités de surface de pointe sont utilisées pour la quantification.

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Ecolab Ultra-Pure Water+

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